Fotowoltaiczne dysze ceramiczne to precyzyjne części ceramiczne do dystrybucji gazu i natryskiwania środków chemicznych w produkcji fotowoltaicznej. Są stosowane w sprzęcie CVD i PECVD, systemach-trawienia na mokro i powiązanych zespołach dostarczających, w których dysza stanowi część ścieżki płynu-procesowego.

Podstawowe zalety

Dokładność otworu ± 0,01 mm

Dokładność średnicy otworu wynosi ±0,01 mm. W zespole dystrybucji gazu lub cieczy z wieloma-dyszami kontrolowanie każdego przejścia w tym zakresie zmniejsza różnice między dyszami i zapewnia bardziej spójny przepływ w układzie.

Ra Mniejszy lub równy 0,2 μm powierzchni wewnętrznej

Chropowatość powierzchni wewnętrznej wynosi Ra mniejsza lub równa 0,2 μm. Gładsza ściana pozostawia mniej punktów, w których mogą gromadzić się cząstki lub pozostałości środków chemicznych w wąskich przejściach, co pomaga w powolnym stopniowym ograniczaniu ścieżki przepływu.

Koperta procesowa gorąca i korozyjna

Maksymalna temperatura robocza wynosi 1200 lub 1500 stopni, w zależności od wybranej ceramiki, a dysze są odporne na większość gazów kwaśnych i zasadowych. Wybór materiału może zatem opierać się zarówno na temperaturze roboczej, jak i medium procesowym.

Personalizacja

Tworzywo

Dostępne materiały to 99% tlenek glinu i węglik krzemu.

Długość i interfejs montażowy

Długość całkowita wykonywana jest według rysunku klienta. Można dodać ramiona, kołnierze, otwory montażowe i inne szczegóły lokalizacyjne, aby dopasować je do interfejsu sprzętu.

Geometria wylotu i przepływu

Zatwierdzony rysunek lub prototyp może definiować układ otworów, kierunek wylotu, geometrię natrysku i konfiguracje z wieloma-otworami.

Dane techniczne

Parametr	Specyfikacja
Rodzaje materiałów	99% tlenek glinu, węglik krzemu
Dokładność średnicy otworu	± 0,01 mm
Chropowatość powierzchni wewnętrznej (Ra)	Mniejsze lub równe 0,2 μm
Długość dyszy	Według rysunku klienta
Maks. Temperatura pracy	1200 stopni (tlenek glinu) / 1500 stopni (węglik krzemu)
Odporność na korozję	Odporny na większość gazów kwaśnych i zasadowych

Kontrola jakości

Rozmiar otworu jest sprawdzany po obróbce. Wewnętrzny kanał jest również sprawdzany pod kątem zablokowania, uszkodzenia krawędzi i stanu powierzchni, zanim dysza przejdzie do weryfikacji funkcjonalnej.

Testowanie przepływu potwierdza, że gotowy kanał jest otwarty i zapewnia spójny kanał. Wymiary zewnętrzne, szczegóły montażu oraz powierzchnie uszczelniające lub ustalające są sprawdzane oddzielnie z rysunkiem.

Przed zapakowaniem dysze są sprawdzane pod kątem wyglądu, przyjętej ilości i czystości. Zapisy z kontroli pozostają w partii,-można zorganizować kontrolę strony trzeciej, a końcówki dysz i precyzyjne powierzchnie czołowe są oddzielone w opakowaniu.